WPE & LOD(应力效应)_wpe效应和lod效应解决办法-CSDN博客
2017年4月18日 WPE & LOD(应力效应) LOCOS: 鸟嘴,H/W小,不太适合CMP工序 STI: H/W大,便于CMP工序 就是挖沟,填二氧化硅隔离介质{Mos比喻成城池,STI就是护城河} sti_mask-->size (diffusion or (dif...CSDN技术社区
2024年09月25日

