鸟嘴效应

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硅的局部氧化-LOCOS-鸟嘴效应 - 知乎

2023年8月2日 "鸟嘴"的长度取决于氧化过程的长度和焊盘氧化物和氮化物的厚度。 除了这种“鸟嘴效应”,白丝带或kooi效应(湿氧化过程中,硅晶圆表面受到氧化物的覆盖压缩,由于硅晶圆的压应力或者拉伸...知乎

关于鸟嘴效应的问题 - 微波EDA网

2022年10月2日 鸟嘴效应顾名思义是说形状很像个鸟嘴,主要是老工艺上用到了LOCOS会出现这种情况,场氧隔离的时候要长厚氧,是湿法长的,因此会有一部分尖尖的鸟嘴长到栅去,减小了...微波EDA网

鸟嘴效应 - 百度文库

2页 发布时间: 2022年11月03日鸟嘴效应在传统的硅的局部氧化(LOCOS)过程中,当氧扩散穿越已生长的氧化物时,它也会在其它方向上扩散。一些氧原子纵向扩散进入硅,另一些氧原子横向扩散,这样就造成氮化物掩膜...百度文库

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